pfc制冷剂：r14、r116、r218 -凯时88kb88
型号：pfc制冷剂
r-14（cf4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、freon 14、pfc-14、fc-14、r14）
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冷媒名称
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r-14
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冷媒名称
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r-14
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沸点（1atm），℃
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-128.1
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破坏臭氧潜能值（odp）
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0
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饱和蒸气压（-150.7℃），kpa
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13.33
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全球变暖潜能值(gwp，100 yr)
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5700
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临界温度，℃
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-45.6
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燃烧
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不可燃
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临界压力，mpa
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3.75
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ashrae安全级别
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a1（无毒不可燃）
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主要应用
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r14主要用于超低温（深冷）复叠式制冷设备中，r14也是低温配合冷媒的重要组分；四氟化碳（别名：四氟甲烷，全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、cf4、pfc-14）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
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包装规格
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钢瓶包装，6.5kg/瓶，27kg/瓶。
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r-116（c2f6、六氟乙烷、全氟乙烷、氟利昂-116、freon 116、pfc-116、fc-116、r116）
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冷媒名称
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r-116
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冷媒名称
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r-116
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沸点（1atm），℃
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-78.2
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破坏臭氧潜能值（odp）
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0
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饱和蒸气压（20℃），kpa
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2884
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全球变暖潜能值(gwp，100 yr)
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11900
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临界温度，℃
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19.9
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燃烧
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不可燃
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临界压力，mpa
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3.04
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ashrae安全级别
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a1（无毒不可燃）
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主要应用
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r116是一种特种低温制冷剂，通常作为一种组分用于混配低温混合冷媒；六氟乙烷（别名：全氟乙烷、氟碳116、perfluoroethane、hexafluoroethane、halocarbon 116、c2f6、fc-116）主要用作气体电介质和制造集成电路的干腐蚀剂。
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包装规格
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钢瓶包装，5kg/瓶，30kg/瓶。
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r-218（c3f8、八氟丙烷，全氟丙烷、氟利昂-218、freon 218、pfc-218、fc-218、r218）
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冷媒名称
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r-218
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冷媒名称
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r-218
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沸点（1atm），℃
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-36.6
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破坏臭氧潜能值（odp）
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0
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饱和蒸气压（20℃），kpa
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全球变暖潜能值(gwp，100 yr)
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8600
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临界温度，℃
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71.9
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燃烧
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不可燃
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临界压力，mpa
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2.68
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ashrae安全级别
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a1（无毒不可燃）
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主要应用
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r218是一种特种低温制冷剂，通常作为一种组分用于混配低温混合冷媒；八氟丙烷（别名：全氟丙烷， 化学式c3f8，英文名octafluoropropane、perfluoropropane、 halocarbon 218、fc-218）主要应用于微电子工业中等离子蚀刻，以及器件表面清洗、碳同位素分离工质、医疗用气、气体绝缘等。
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包装规格
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钢瓶包装，5kg/瓶，35kg/瓶。
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制冷剂压焓图
制冷剂温度压力对照表
物质安全技术说明书(msds)
